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[00275863]多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN200810143585.7

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 中南大学

所在地:湖南长沙市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  本发明公开了一种多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法(专利号200810143585.7),将U形炭纤维坯体进行高温纯化预处理后沉积,热处理温度为1600~2800℃;将U形炭纤维坯体以高纯N2为载气和稀释气体、C3H6为炭源进行裂解增密制备出炭/炭复合坯体,裂解温度850~1200℃,时间100~400h,炉内气压0.5kPa~2.5kPa;将增密至一定密度的炭/炭复合坯体进行机加工,酸洗+氯盐洗,进行高温纯化处理,处理温度为2000~2800℃;将炭/炭复合坯体以高纯N2为载气和稀释气体、C3H6为炭源进行表面涂层处理,裂解温度900~1300℃,时间10~100h,炉内气压1.0kPa~4.0kPa;并测定炭/炭复合材料发热体成品的技术指标。本发明能制备出纯度高、电阻率随温度变化稳定、使用寿命长的大尺寸异形薄壁炭/炭复合材料发热体。

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