交易价格： 面议
类型： 非专利
技术成熟度： 正在研发
交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股
联系人： 沈阳大学
所在地：辽宁沈阳市
一种氮化钛/氮化铝/镍纳米多层薄膜的制备方法，涉及一种陶瓷/陶瓷/金属纳米多层薄膜的制备方法，包括以下步骤：选钢材作为基体，基体表面研磨并抛光后，用超声波清洗，烘干后镀膜；沉积多层薄膜前先将真空室抽真空，然后通入高纯氩气，在基体上沉积一层金属钛层，通过计算机精确控制靶材上挡板的打开时间进行交替沉积TiN/AlN/Ni纳米多层薄膜，镀膜结束后样品随炉冷却至室温即可。该方法系一种反应磁控共溅射方法沉积的高硬度、高韧性、高结合强度、耐磨、耐腐蚀、耐高温氧化的TiN/AlN/Ni纳米多层薄膜的制备方法。该薄膜可应用于工模具的表面或作为装饰薄膜应用于钟表、首饰等产品，属于表面强化或表面改性领域。
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