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[00272978]一种电子级三氯氢硅纯度评价方法

交易价格: 10 万元

类型: 发明专利

技术成熟度: 通过小试

专利所属地:中国

专利号:CN201210170915.8

交易方式: 完全转让 5年独占许可转让

联系人: 王晓东

所在地:青海西宁市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  本发明涉及一种电子级三氯氢硅纯度评价装置(专利号201210170915.8),该装置包括底盘及置于所述底盘上的带有冷却水夹套的钟罩、置于所述带有冷却水夹套的钟罩内的钽丝和穿过所述底盘且连有电源的一对电极。所述带有冷却水夹套的钟罩的顶部分别设有吊耳、钟罩冷却水出水口,其侧壁分别设有钟罩冷却水进水口、视镜;所述一对电极通过所述钽丝连接在一起;所述一对电极的外侧分别设有反应气体进气管口、反应气体出气管口,该反应气体进气管口和反应气体出气管口穿过所述底盘与所述带有冷却水夹套的钟罩腔体相通。本发明结构简单、成本低廉,可以达到快速、准确测纯的目的,并实现了安全操作。

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