[00270961]一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510952540.4

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：徐州中国矿业大学大学科技园有限责任公司

所在地：江苏徐州市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法，属于传感器的催化剂载体制备方法。采用一种电泳沉积的方法在硅圆片上批量制备MEMS甲烷传感器的催化剂载体；硅圆片上制备有多个MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感器加热元件包括两个金属极板及与之相连的加热器；硅圆片边缘的总金属连接端通过硅圆片上的金属线与所有MEMS甲烷传感器加热元件的金属极板相连；纳米氧化铝溶胶粒径为10-50nm；纳米氧化铝溶胶制备的MEMS甲烷传感器的催化剂载体晶型为γ-Al₂O₃。优点：方法设备简单，容易操作，可批量制备催化剂载体，制备的催化剂载体涂层均匀、稳定、一致性好。

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