一种自组装氧化钒薄膜的制备方法，属于无机半导体功能材料领域。包括以下步骤：对衬底先用丙酮溶液超声清洗，再用去离子水超声清洗，最后用无水乙醇超声清洗后烘干；将烘干后的衬底放入十八烷基三氯硅烷-甲苯溶液中静置后在紫外光中照射；将V 2 O 5 和抗坏血酸溶解在水中，并加入稀HCl调整PH，至透明澄清蓝色溶液A；将醋酸铈和仲钨酸铵溶解在水中加入稀HCl调整PH形成溶液B；将溶液A和溶液B混合，边混合边搅拌加入聚乙二醇，然后密封陈化；将经紫外光照射后的衬底放入密封陈化后溶液中后提出烘干；最后在Ar气中热处理。本发明在较低温度下合成避免高温条件下氧化钒的毒性，简化了前躯体的制备的工艺流程，有利于环保和操作人员的健康。
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