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[00270373]一种THz波段氧化钒光开关及其制作方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201010276138.6

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 四川钒钛产业技术研究院

所在地:四川攀枝花市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种THz波段氧化钒光开关及其制作方法,涉及光通讯技术领域,氧化钒光开关由氧化钒薄膜构成,所述氧化钒光开关装载在太赫兹时域频谱系统或调制解调器中。该方法包括以下步骤:利用反应磁控溅射方法在硅衬底材料上制备氧化钒薄膜;利用太赫兹时域频谱系统产生THz波,当THz波传输时,激光激发所述氧化钒薄膜,使得THz波不能通过所述氧化钒薄膜,实现了所述氧化钒光开关的关闭;利用所述太赫兹时域频谱系统产生THz波,当THz波传输时,撤掉激光,使得THz波通过氧化钒薄膜,实现了所述氧化钒光开关的开启。通过本发明提供的THz波段氧化钒光开关及其光开关的制作方法,实现了开关速度快、插入损耗低、消光比高等。

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