[00270106]一种多孔硅基氧化钒纳米棒复合结构的制备方法
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201410033915.2
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
四川钒钛产业技术研究院
所在地:四川攀枝花市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种多孔硅基氧化钒纳米棒复合结构的制备方法,先将p型单面抛光的单晶硅基片放入清洗液中清洗,再采用双槽电化学腐蚀法在清洗过的硅基片抛光表面制备多孔硅层,再以金属钒作为靶材,在多孔硅表面溅射形成金属钒薄膜,再将溅射有金属钒薄膜的多孔硅基片置于马弗炉中于550~650℃热处理,制得多孔硅基氧化钒纳米棒复合结构。本发明工艺方法简单,重复性好,参数易于控制,在室温下对NO 2 气体具有较好的气敏特性。