[00270067]钒掺杂二氧化钛薄膜的制备方法
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201610919904.3
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
四川钒钛产业技术研究院
所在地:四川攀枝花市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种钒掺杂二氧化钛薄膜的制备方法,所述制备方法包括:S1、提供一基材;S2、以Ti靶为Ti源,将钒片放置于Ti靶上方,在He和N2气氛中,采用磁控溅射法在基材上生长钒掺杂的TiN薄膜;S3、将钒掺杂的TiN薄膜在O2气氛中进行退火,得到钒掺杂的二氧化钛薄膜。本发明中的钒掺杂二氧化钛薄膜具有良好的稳定性,可有效地提高薄膜的使用寿命,另外该钒掺杂二氧化钛薄膜还具有高透光性,具有较佳的光催化性能,能够有效提高太阳光的利用率。