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[00261035]丝网印刷制备纳米SiC薄膜中的热烧结处理方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN200810233812.5

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 科小易

所在地:福建厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明涉及丝网印刷制备纳米SiC薄膜中的热烧结处理方法,其特点是,包括下列步骤,升温至350-380K后保持20-25分钟,然后再升温至423-453K后保持60-75分钟,然后再升温至633-653K后保持70-80分钟,自然冷却至室温待用。本发明中丝网印刷制备纳米SiC薄膜中的热烧结处理方法,一方面可以使薄膜干燥并牢固地粘结在或其它导电板上衬底上,另一方面可以使薄膜中所含制浆材料分解蒸发掉。使纳米SiC微尖露出薄膜表面,才有利于电子场发射,从而制得纳米SiC场发射阴极薄膜。

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