[00258036]电流体动力学直写过程的全闭环实时自适应控制方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610947875.1

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：科小易

所在地：福建厦门市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明为有效调控电流体动力学直写图案线宽的均匀性，提出一种电流体动力学直写过程的全闭环实时自适应控制方法，第一步，构建参数预测模型；第二步，对期望直写图案线宽r(k)进行柔性化处理；第三步，对柔化处理后的直写图案线宽wr(k)进行实时滚动优化；第四步，对射流模型形态的进行控制，第五步、实时反馈校正，通过在线实时检测方法，对参数预测模型进行在线修正，然后进行实时滚动优化，从而实现电流体动力学直写过程的全闭环实时控制，实时检测电流体动力学直写图案的轮廓形状、基板的移动速度以及喷射高度的变化，自适应调控直写射流的多物理场耦合模型，有效控制电流体动力学直写射流形态，从而实现直写图案的线宽均匀性控制。

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