[00257018]一种可控垂直浸渍液相外延膜生长装置

交易价格： 面议

类型： 实用新型专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN200720072276.6

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：科小易

所在地：福建厦门市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

一种可控垂直浸渍液相外延膜生长装置，包括，炉体，其具有一个一端开口的腔体结构，其开口处设炉盖，炉盖上开有通孔；第一发热体，设置于炉体腔体结构内侧；炉管，设于炉体腔体结构内，其底部放置耐火砖；坩埚，设于耐火砖上；籽晶杆，通过炉体炉盖伸入炉体腔体内的炉管腔内，对应于坩埚；炉体内壁开有凹槽；第二发热体，环设于炉体内壁凹槽内；第一、第二发热体均具有各自独立的温度控制系统；本实用新型通过设置第二发热体，通过控制坩埚上方的空气温度，以调节被衬底吸附的熔体的粘度，影响熔体在籽晶杆旋转主用下被甩熔体的量，使衬底底部吸附的熔体表面平整，并达到影响膜厚度的效果，保证垂直浸渍液相外延膜生长方法能够生长所需要的膜。

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