[00254123]一种开合式三维沟槽电极硅探测器

交易价格： 面议

类型： 实用新型专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201621351373.4

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：湘潭大学

所在地：湖南湘潭市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

登录后向技术服务商咨询

咨询平台客服试试在线客服吧发布技术需求服务免费

技术详细介绍

摘要：本实用新型公开了一种开合式三维沟槽电极硅探测器，在硅体上贯穿刻蚀后经过扩散掺杂形成开合式沟槽电极、中央电极，开合式沟槽电极环绕于中央电极之外，中央电极接负极，开合式沟槽电极接正极，开合式沟槽电极为存在开口、不连续的圆柱结构；探测器最底端设有二氧化硅保护层。本实用新型使死区面积最小，工作时粒子能够双面入射，反应更为灵敏；解决了现有技术中三维硅探测器只能单面刻蚀，粒子只能单面入射，且存在死区，影响探测器探测性能的问题。

成果推荐需求推荐评估专家推荐评估机构推荐

更多>

上海平正评估有限公司

服务分类：资产评估、无形资产评...

进入主页
连城资产评估有限公司

服务分类：资产评估、无形资产评...

进入主页

更多>