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[00252983]电子薄膜材料生长的加热器

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN03114636.8

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 西安理工大学

所在地:陕西西安市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  摘要:本发明涉及电子薄膜加热器,特别是用于新型电子薄膜材料生长系统的加热器

  加热器由支撑挂、加热灯管和两个环形电极组合而成,发热体为碘钨灯管,加热灯管固定在两个环形电极上,两个环形电极上对称设置有若干个加热灯管安装槽,加热灯管安装在槽内并通过螺钉压紧,外层安装一个反光罩,组成灯光照射式加热器。灯管与电极之间的安装采用快装“L”型槽和螺钉压紧式结构,方便可靠。本发明具有结构简单,制造安装方便,更换灯管快捷,尤其是加热器内还可以置有一个真空室,真空室内根据不同的需要通入一定组份的气体,即可实现不同薄膜的生长。这种加热器具有加热速度快,加热均匀,维修简单的特点,广泛应用于新型电子薄膜材料生长的加热。

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