[00252223]多功能集成传感器芯片的制作方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN200510042729.6

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：西安交通大学

所在地：陕西西安市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

登录后向技术服务商咨询

咨询平台客服试试在线客服吧发布技术需求服务免费

技术详细介绍

本发明公开了一种多功能集成传感器芯片的制作方法，采用微机械电子系统技术和集成电路微加工技术在一个5mm×5mm面积的管芯上制作出能分别敏感压力、温度、湿度三个传感器单元；三个单元基于的效应不同，其中压力单元基于压阻效应，主要用于检测环境的压力变化；温度单元基于热阻效应，用于检测环境温度的变化；湿度单元基于电容原理，用于检测环境湿度的变化。本发明制作的多功能集成传感器芯片可用于检测环境压力、温度、湿度等与人体舒适度有关的参数，提供给环境调控设备实现舒适度满意的小环境，可集成在便携式仪器上，如手表、手机等，便携、使用方便。

成果推荐需求推荐评估专家推荐评估机构推荐

更多>

上海平正评估有限公司

服务分类：资产评估、无形资产评...

进入主页
连城资产评估有限公司

服务分类：资产评估、无形资产评...

进入主页

更多>