[00250618]一种塑性金属纳米Cu/Ru多层膜的制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510044189.9

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：西安交通大学

所在地：陕西西安市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种塑性金属纳米Cu/Ru多层膜的制备方法，该方法采用磁控溅射技术，通过控制不同组成元素铜层和钌层交替更迭，并通过溅射过程转速、偏压等实验参数的调整铜层和钌层的单层厚度均与1.5nm，从而形成具有相同面心立方结构的铜层和钌层。该工艺通过在脆性钌相中加入第二相铜，诱导密排六方的钌层向面心立方的相转化。该方法制备的薄膜结构致密，可以很容易通过控制单层薄膜厚度来控制钌相的结构结构，从而为制备塑性优异的钌合金材料提供可能。同时，该方法操作简单，成本较低，易于在工业上实现和推广。

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