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[00245208]一种基于Cr2O3模板低温制备Zr掺杂α‑Al2O3纳米多层阻氚涂层工艺

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610901542.5

交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股

联系人： 四川大学

所在地：四川成都市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种基于Cr2O3模板低温制备Zr掺杂α‑Al2O3纳米多层阻氚涂层工艺。本发明采用射频反应磁控溅射技术，先制备一层Cr2O3作为模板层，随后利用模板效应再制备一层Zr掺杂α‑Al2O3，重复上述步骤多步沉积获得Zr掺杂α‑Al2O3/Cr2O3纳米多层阻氚涂层预抽真空度＜7.0×10‑4

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