[00239649]基于氧化钒/氧化锌叠层结构的阻变存储器及其制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201210440132.7

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：四川钒钛产业技术研究院

所在地：四川攀枝花市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

一种基于氧化钒/氧化锌叠层结构的阻变存储器，由下电极、阻变层和上电极构成，阻变层为由氧化钒介质层和氧化锌介质层组成的叠层结构，氧化钒介质层和氧化锌介质层薄膜采用直流溅射或射频溅射法制备。本发明的优点是：该阻变存储器采用氧化钒/氧化锌叠层结构，具有氧化锌双极性和单极性极性可控的优势，提高了器件的一致性和重复性；与单层氧化钒相比，reset电流降到了10mA以下；在双极性测试过程中，具有一个渐进的reset过程，可以通过不同振幅的reset电压而得到不同的高阻态的电阻，至少可以获得3个电阻值，并且每个电阻值之间有10倍以上的阻值比，因而可以将其应用于多值存储。

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