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[00238741]一种微型二氧化钒光开关

交易价格: 面议

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN200320115572.1

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 四川钒钛产业技术研究院

所在地:四川攀枝花市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本实用新型公开了一种微型二氧化钒光开关,包括衬底、VO 2 层和电极,衬底和VO 2 层之间设有Si 3 N 4 材料制成的过渡层,在VO 2 层上设有金属加热线。本实用新型无移动部件,膜系本身就是加热器,不必另装加热设备,结构简单、工作可靠,便于大规模集成,低成本、低功耗,同时,由于该光开关可以采用标准半导体制造工艺制作,而且具有开关时间短,对偏振不灵敏,消光比高,插入损耗小的特点,是一种全新的开关器件,可以在光通讯和光传感领域中得到很大的发展。

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