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[00237970]一种基于掺金氧化钒的室温甲烷气体传感器制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201510546837.0

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 四川钒钛产业技术研究院

所在地:四川攀枝花市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明提供了一种基于掺金氧化钒的室温甲烷气体传感器制备方法,首先溅射,淀积交叉金属铂电极,通过直流磁控溅射镀金属钒纳米薄膜,再溅射掺杂金属金颗粒,然后利用快速退火技术进行氧化生成掺金氧化钒。本发明方法可以降低传感器的工作温度,从而影响整个敏感材料的电导率的变化,提高传感器的活性。除此之外,其还能大幅度提高气敏传感器的灵敏度。

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