[00237796]一种矾铝合金靶材及其制备方法
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201510317777.5
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
四川钒钛产业技术研究院
所在地:四川攀枝花市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供了一种矾铝合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、铝粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与铝粉的质量配比为19:1~3:2,所述钒粉与铝粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与铝粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和铝粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的矾铝粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的矾铝合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。