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[00235622]一种直流磁控溅射制备光解水用钒酸铋薄膜的方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201610033270.1

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 四川钒钛产业技术研究院

所在地:四川攀枝花市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开一种直流磁控溅射制备光解水用钒酸铋薄膜的方法,包括如下步骤:S1,以导电玻璃为衬底,金属铋和金属钒为靶材,在氩气和氧气的混合气氛下进行直流磁控溅射;S2,将生长的薄膜置于空气中退火,退火温度为500-600℃。本发明方法可以实现大面积单斜白钨矿型钒酸铋薄膜的制备及掺杂。用此方法制备的薄膜晶体质量高、载流子浓度和迁移率均达到不同程度提高,具有高效水裂解性能。

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