[00235409]一种制备高重复性氧化钒薄膜的方法及其设备

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201010555465.5

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：四川钒钛产业技术研究院

所在地：四川攀枝花市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种制备高重复性氧化钒薄膜的方法及其设备。该方法包括以下步骤：步骤1、将氧气和氩气按比例预先配气；步骤2、将经过步骤1预先配气处理的氧氩混合气体充入溅射腔室，调整镀膜过程中衬底温度、气体流量、溅射腔室压力、聚焦源离子束能量和束流密度的参数值，以确定单次镀膜的工艺条件；步骤3、在步骤2的溅射镀膜工艺条件下连续镀膜。该设备包括溅射腔室，溅射腔室设有进气管，它还包括通过进气管与溅射腔室连接的配气室。本发明采用了预先配气方案，在单次镀膜过程中从配气室内引气，确保在镀膜过程中维持溅射腔室内氧气分压恒定，进而制备出高重复性的氧化钒薄膜。

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