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[00235228]一种氧化钒薄膜及其制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201410775861.7

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 四川钒钛产业技术研究院

所在地:四川攀枝花市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种氧化钒薄膜及其制备方法,制备过程中通过提升退火中的氧气流速,使制得的氧化钒薄膜的表面变得疏松多孔,同时提高了氧化钒薄膜的相变幅度。该方法克服了氧化钒薄膜制备时间长,相变幅度低的缺点,可严格控制工艺参数,提高工艺重复性及氧化钒薄膜的相变幅度,从而提高器件的灵敏度。同时疏松多孔的形貌增大了薄膜的比表面积,对于提高传感器的气敏性能具有重要作用,可以使其更好的应用于实际。

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