[00234743]快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201210201505.5
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
四川钒钛产业技术研究院
所在地:四川攀枝花市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜,目的是克服在制备具有相变特性的二氧化钒薄膜的现有制备方法的调控参数多、工艺复杂、实验可控性较差的缺点。本发明对于溅射时间为10-30min的金属钒薄膜,快速热氧化温度430℃-500℃,快速热氧化时间30s-90s(保温时间)可获得热致相变特性;快速热氧化过程中,升温速度为50℃/s,降温时间在3分钟以内,工作气体为高纯氧气或者氮氧混合气体。本发明可重复性高,适用于大面积生产。