[00234716]一种颗粒及短棒状氧化钒薄膜的制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510172539.X

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：四川钒钛产业技术研究院

所在地：四川攀枝花市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种颗粒及短棒状氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)清洗陶瓷片基底；(2)磁控溅射在陶瓷片基底上制备Pt的叉指电极；(3)磁控溅射制备金属钒的薄膜；(4)磁控溅射在纯的金属V膜上喷铜；(5)快速退火制备氧化钒薄膜。本发明方法可快速制备颗粒及短棒状氧化钒薄膜，可严格控制工艺参数，提高工艺重复性及氧化钒薄膜的表面积。使得氧化钒薄膜在气敏传感器的灵敏度提高方面具有很大的潜力，可以更好的应用于实际。

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