[00234689]金掺杂多孔硅/氧化钒纳米棒气敏材料的制备方法
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201410394351.5
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
四川钒钛产业技术研究院
所在地:四川攀枝花市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种金掺杂多孔硅/氧化钒纳米棒气敏材料的制备方法:首先将p型单面抛光的单晶硅基片清洗干净,采用双槽电化学腐蚀法在其抛光表面制备多孔硅层,再在多孔硅表面溅射形成金属钒薄膜;再将其置于离子溅射仪的真空室中,采用金为靶材,在多孔硅/金属钒薄膜表面沉积金薄膜,溅射电流5mA,溅射时间10s~30s;再于550~650℃热处理,制得金掺杂多孔硅/氧化钒纳米棒气敏材料。本发明的工艺方法简单,重复性好,参数易于控制,在室温下对低浓度二氧化氮气体具有较好的气敏特性。