[00232095]一种陶瓷‑金属纳米线复合薄膜及其制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510406383.7

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：中科院宁波先进制造所

所在地：浙江宁波市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：本发明公开了一种制备陶瓷‑金属纳米线复合薄膜的方法，该方法采用磁控溅射，借助溅射过程中化合物陶瓷靶及金属靶功率的调控，并结合辅助衬底偏压的选择性刻蚀，可大范围实施复合薄膜内金属纳米线尺寸及间距的调整；同时，该方法在制备薄膜过程中，绿色无污染，且方便在各类型衬底材料上低成本、大面积制备。本发明所述的陶瓷可以是氧化物、氮化物、硼化物及碳化物等；所述的金属可以是金、银、铜、铂等；所述衬底可以为金属、或无机半导体材料、或无机绝缘材料；所述的陶瓷‑金属纳米线复合薄膜可以是单层，也可以是具备不同金属体积百分数膜层的叠加，即多层堆叠结构。采用本发明所制备的复合薄膜，具备明显的光学各向异性。

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