[00232086]基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510403856.8

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：中科院宁波先进制造所

所在地：浙江宁波市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法，其包括如下步骤：a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和水混合得到预处理液；b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理A，直到基本去除硅片上的切割纹；c用酸性溶液对经过预处理A处理的硅片进行清洗，以去除硅片上的金属颗粒；d将用酸性溶液清洗过的硅片置于预处理液中进行预处理B，在所述硅片上形成具均匀微纳结构的预处理绒面。本发明还提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法。

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