[00232085]基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510403859.1

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：中科院宁波先进制造所

所在地：浙江宁波市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法，其包括如下步骤：a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液，所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种；b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理；c将经过预处理的硅片置于氢氟酸硝酸制绒液中进行制绒处理。本发明还提供一种基于金刚线切割的硅片制绒品以及硅片制绒预处理液。

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