[00229923]一种离子迁移管的制作方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201310348938.8

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

所在地：江苏苏州市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：本发明提供了一种离子迁移管的制作方法，在硅基衬底表面沉积金属电极，并对硅基衬底进行刻蚀，以形成独立的一对叉指电极，再在玻璃基片上开设与叉指电极所在区域对应的孔，将玻璃基片与硅基衬底粘合，且使叉指电极所在区域内嵌于孔中，根据需要将玻璃基片进行切片，以形成离子迁移管。本发明利用硅基衬底与玻璃基片实现电绝缘的两对电极，并形成离子迁移通道，再根据实际需要将玻璃基片进行切片，形成离子迁移管，实现离子迁移管的微型化。

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