[00229369]一种密封微孔敞口的工艺

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510687617.X

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：中科院重庆绿色智能技术研究院德领科技

所在地：重庆重庆市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

　　本发明公开了一种密封微孔敞口的工艺。

　　密封微孔敞口的工艺利用Au催化辅助化学气相沉积生长技术，在带有微米孔的Si3N4衬底上制备了ZnO纳米结构，实现表面封孔的目的。封孔过程从孔壁向孔的中心平面沉积，通过沉积的温度和时间来控制微孔表面的沉积速率，最终形成氧化锌薄膜。所述氧化锌薄膜包括由交叉生长的氧化锌纳米线、纳米片或纳米柱构成的氧化锌纳米线层，形成的纳米材料结构确定、有序、可实现高的比表面积。经封孔处理后的Si3N4可作为承载、透波和热防护材料，密封微孔敞口的工艺可用于半导体纳米材料技术领域，多形态的ZnO纳米结构易刻蚀而使后继工艺加工更方便。

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