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[00227266]利用射频或直流磁控溅射制备掺铝氧化锌透明导电薄膜

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 福建师范大学

所在地:福建福州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  由于氧化铟材料的不断上涨,而氧化锌在自然界中很丰富,并且氧化锌稳定且不含毒素,因此制备掺铝氧化锌薄膜来替代ITO薄膜具有很好的实用和经济价值。掺铝氧化锌薄膜具有性能稳定、价格低的特点,已经广泛应用在太阳能电池的电极中。本课题组已利用磁控溅射技术制备了方块电阻小于50欧,可见光区平均透过率(含基板)大于84%的掺铝氧化锌薄膜。

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