[00222554]一种类金刚石厚膜及其制备方法及一种工件

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510099972.5

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：重庆大学

所在地：重庆重庆市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加，得到类金刚石膜层，其中不涉及到引入外加异质元素，有效避免了异质元素掺杂导致膜层力学性能恶化的难题。并且，本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜进行叠加，大大降低了层与层之间的应力，层与层之间结合力较强，不会发生剥离。

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