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[00221046]一种在基片水平方向可控生长碳纳米管束的方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:201410792370.3

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 武汉大学

所在地:湖北武汉市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  本发明公开了一种在基片水平方向可控生长碳纳米管束的方,属于纳米材料制备技术领域。该方法包括如下步骤:(1)在第一片基片表面加工出水平方向的微纳通道;(2)在微纳通道底部的一端沉积催化膜,并对其进行图形化;(3)采用键合工艺将第二片基片覆盖在微纳通道上方;(4)在第二片基片上刻蚀出与微纳通道连通的通气孔,形成半封闭式微纳通道;(5)在半封闭式微纳通道内生长碳纳米管束;(6)除去第二片基片、通气孔中的碳纳米管及其碳纳米管束四周的基片,即在基片水平方向得到与微纳通道尺寸一致的碳纳米管束。其优点是:在基片水平方向上可获得取向、尺寸、位置精确可控的碳纳米管束;工艺过程简单,易于实现,用途广泛。

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