交易价格： 面议
类型： 实用新型专利
技术成熟度： 可以量产
专利所属地：中国
专利号：201420646931.4
交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股
联系人： 徐州中国矿业大学大学科技园有限责任公司
所在地：江苏徐州市
一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器，适用于工矿企业中对瓦斯防治时使用。以P型硅为衬底，在所述P型硅衬底上形成N型硅；以所述P型硅衬底上的N型硅加工制备硅加热元件；所述硅加热元件包括两个固定端、硅加热器、两个硅悬臂；该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆片加工硅加热器，硅加热器同时作为甲烷敏感元件、不需催化剂载体及催化剂材料。该甲烷传感器具有功耗低、灵敏度高、响应速度快、缺乏氧气时不会对甲烷检测产生影响、不受积碳、中毒等因催化剂所带来影响的特点。
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