交易价格： 面议
类型： 实用新型专利
技术成熟度： 可以量产
专利所属地：中国
专利号：201420643827.X
交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股
联系人： 徐州中国矿业大学大学科技园有限责任公司
所在地：江苏徐州市
一种MEMS甲烷传感器，适用于煤矿检测使用。它包括P型硅衬底，在所述P型硅衬底正面形成N型硅；以所述P型硅衬底上的N型硅加工制备硅加热元件；所述硅加热元件包括两个固定端、硅加热器、两个硅悬臂；该传感器以普通单晶硅作为加热元件的材料，加热元件同时作为敏感元件，且不需催化剂载体及催化剂材料；该传感器具有成本低、灵敏度高、功耗低、灵敏度高、测量不受氧气浓度影响、不受积碳、中毒影响的优点。
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