交易价格： 面议
类型： 实用新型专利
技术成熟度： 可以量产
专利所属地：中国
专利号：201420646230.0
交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股
联系人： 徐州中国矿业大学大学科技园有限责任公司
所在地：江苏徐州市
一种基于倒装焊封装的微型甲烷传感器，属于MEMS甲烷传感器及其制备方法。该甲烷传感器首先采用MEMS技术加工制备单片高温加热器与单片甲烷气体检测器与环境温度检测器，然后通过倒装焊封装技术将单片高温加热器与单片甲烷气体检测器形成一个整体的叠层结构形式的微型甲烷传感器。其中的单片高温加热器独立加热至500℃以上高温；单片甲烷气体检测器独立检测因甲烷出现及浓度变化造成的温度下降，其测量电路与单片高温加热器的电路相互独立，互不影响。该传感器的制备工艺与CMOS工艺兼容，该甲烷传感器功耗低、灵敏度高、使用寿命长。
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