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[00202086]液位沉降法制备薄膜的装置

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 通过小试

专利所属地:中国

专利号:CN200810116407.5

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 北京石油化工学院

所在地:北京北京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

液位沉降法制备薄膜的装置
  本发明公开一种液位沉降法制备薄膜的装置,该装置包括:容器、加热板、储液器和管路,其中,所述容器为方形扁平结构,容器上设有输液口,所述容器通过输液口经管路与储液器连通;所述容器上设有加热板,所述加热板与容器内放置制膜的基板的位置相对应,用于薄膜的干燥和退火。该装置结构简单,由于采用方形扁平结构的容器,减少了用液量,有效降低了制备薄膜的成本,并且通过控制液位的沉降,可以方便的制备所需的薄膜,而基板不用动,装置可任意角度倾斜,使一次性镀膜厚度可控,加快了制备薄膜时间。

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