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[00157442]一种凸非球面光学元件的面型检测装置

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:ZL201210018650.X

交易方式: 完全转让

联系人: 厦门大学

所在地:福建厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  一种凸非球面光学元件的面型检测装置,涉及一种光学元件的检测装置。设有光源、反射镜、接收镜、检测平台、升降台和分析处理系统;反射镜设于光源光束前方,检测平台设于反射镜前方,接收镜设于光学元件前方,分析处理系统设于接收镜前方;检测平台自下而上依次设有垂直运动、摆动和回转机构;垂直运动机构设有底座、第1支承油腔、升降杆、丝杆电机、连接板、微调楔块和限位槽;摆动机构设有第3支承油腔、静压止推轴承、转轴、C轴工作台、摆动平台和伺服电机;回转机构设有马达和A轴工作台。结构简单,无机械效率损失,输出扭矩大,实现高定位精度、高动态响应和低噪声。具有承载能力高、旋转精度高、寿命长、均化误差等特点。

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