交易价格： 面议
类型： 发明专利
技术成熟度： 正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN200910157875.1
交易方式： 完全转让
联系人： 中国科学院大连化学物理研究所
所在地：江苏苏州市
一种制备用于染料敏化太阳能电池的TiO2纳米棒阵列的方法，利用直流反应磁控溅射方法进行制备，步骤为：将衬底表面放入直流反应磁控溅射装置内，抽真空至小于1×10-3P，Ar气为溅射气体，O2气为反应气体，溅射气体和反应气体分别进行控制；反应气体的压强为0.09-1p，溅射气体的压强为1-5Pa，溅射功率为200-250W，靶到衬底的距离为40-80mm。本发明通过控制气体压强、衬底温度、溅射功率以及靶和衬底的距离等工艺条件，制备了排列均匀的TiO2纳米棒阵列。本发明的TiO2纳米棒具有很强的沿着(220)方向的择优取向，应用到染料敏化太阳能电池中光电转换最高效率可达到5.24％。
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