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[00151869]控制栅极自对准微喷头

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200910112035.3

交易方式： 完全转让 许可转让 完全转让

联系人： 厦门大学

所在地：福建厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

项目简介：
　　控制栅极自对准微喷头，涉及一种喷头。提供一种控制栅极自对准微喷头。设有上层硅片和下层硅片，在上层硅片上表面设有上层电极，在上层硅片上设有进液孔，在进液孔下方设有针尖，在上层硅片内设有环状定位孔，在下层硅片上表面设有绝缘层，在下层硅片上表面设有与设于上层硅片内的环状定位孔相套接的定位环，在下层硅片底部设有控制栅极，在下层硅片中部设有喷头出口。

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