交易价格: 面议
类型: 发明专利
技术成熟度: 正在研发
专利所属地:中国
专利号:200910112546.5
交易方式: 完全转让 许可转让 完全转让
联系人: 厦门大学
所在地:福建厦门市
项目简介:
一种多晶硅除硼提纯方法,涉及一种多晶硅的除硼提纯工艺。提供一种高效,低成本,操作简单,适合大规模工业化生产的多晶硅除硼提纯方法。选用金属硅为原料;将原料金属硅放入石墨坩埚中,抽真空,启动中频感应电源加热,使石墨坩埚中的金属硅熔化;当硅全部熔化后,向体系中通入惰性气体,提高电源功率,使硅液温度保持在1500~1600℃,加入预熔过的第一种助渣剂反应,进一步提高电源功率,使硅液温度保持在1600~1700℃,再加入预熔后的第二种助渣剂;待造渣完成后,将硅液倒入浇注用坩埚中,静置,冷却后取出硅锭,得到提纯后的多晶硅锭。
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