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[00142359]一种离子敏传感器及其制作方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:201310163267.8

交易方式: 许可转让

联系人: 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

所在地:江苏苏州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  本发明涉及一种离子敏传感器,包括上下层叠氧化硅层和硅衬底;间隔设置于所述氧化硅层上的源极、漏极;以及设置于所述源极、漏极之间的氧化硅层表面的石墨烯层,所述石墨烯层分别与所述源极插齿部、漏极插齿部连接;所述石墨烯层表层渗透有金属氧化物颗粒;以及微流控沟道层,架设于包覆有绝缘层的源极插齿部、漏极插齿部上,并与所述石墨烯层配合形成用于容纳待测物的空腔;所述微流控沟道层上还开设有通孔;悬浮栅极,插入所述通孔并伸至所述空腔内。本发明具有类场效应晶体管的结构,实现了高通量、高灵敏度,短响应时间等优点。

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