交易价格: 面议
类型: 发明专利
技术成熟度: 正在研发
专利所属地:中国
专利号:201310163267.8
交易方式: 许可转让
联系人: 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所在地:江苏苏州市
本发明涉及一种离子敏传感器,包括上下层叠氧化硅层和硅衬底;间隔设置于所述氧化硅层上的源极、漏极;以及设置于所述源极、漏极之间的氧化硅层表面的石墨烯层,所述石墨烯层分别与所述源极插齿部、漏极插齿部连接;所述石墨烯层表层渗透有金属氧化物颗粒;以及微流控沟道层,架设于包覆有绝缘层的源极插齿部、漏极插齿部上,并与所述石墨烯层配合形成用于容纳待测物的空腔;所述微流控沟道层上还开设有通孔;悬浮栅极,插入所述通孔并伸至所述空腔内。本发明具有类场效应晶体管的结构,实现了高通量、高灵敏度,短响应时间等优点。
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