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[00141915]一种金属氧化物薄膜场效应晶体管有源层的制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:201210366188.2

交易方式: 许可转让

联系人: 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

所在地:江苏苏州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明涉及电子材料制作领域,尤其是指一种金属氧化物薄膜场效应晶体管有源层的制备方法,其步骤包括:A:将由金属盐、粘合剂和有机溶剂形成的前驱体,利用静电纺丝技术将所述前驱体喷射至接收板上;B:将步骤A所述的前驱体置于马弗炉中400~800℃煅烧2~4h。本发明通过电纺丝技术制备的有源层实现低成本、大规模的纳米尺度、高性能场效应晶体管的制作。该制备方法要求的环境很宽松,不需要在手套箱等无水无氧环境下实施,简化了工艺,且制得的有机电子器件具有很强的抗水氧能力,很好地简化了有源层的制作方法,同时改善了有源层的性能,获得高性能的场效应晶体管。

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