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[00134398]大功率LED多层梯度材料散热通道的构造方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:200810025449.8

交易方式: 完全转让

联系人: 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

所在地:江苏苏州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明提供大功率LED多层梯度材料散热通道的构造方法,其构造步骤为:1)制备GaN基LED芯片:对GaN基LED外延片进行干法刻蚀,形成L型,露出N-GaN层台面;在P-GaN层表面蒸发一层铟锡氧化物电流扩展层,再蒸发P、N电极,再在P、N电极上镀上纯金;2)制备Cu快速热扩散板:先制作L型的Cu板,磁控溅射一层Ti或Cr,作为粘附层;在Ti层上磁控溅射一层AlN,作为绝缘层;再蒸发一层薄金,镀上一层厚纯金;3)采用热压焊进行纯金键合,将LED芯片倒装在Cu快速热扩散板上。本发明采用高热导、热膨胀系数梯度变化的Au-Au-AlN-Ti多层材料构建LED至Cu快速热扩散板之间的散热通道,解决了大功率LED的散热问题,提高了器件的散热能力和稳定性。

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