[00134397]集成压电可动微透镜增强型锥形亚波长近场光探针阵列

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200810025447.9

交易方式： 完全转让

联系人：中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

所在地：江苏苏州市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明提供一种集成压电可动微透镜增强型锥形亚波长近场光探针阵列，由集成压电可动微透镜和带金属沟槽结构的锥形亚波长通光孔阵列组成，在减薄的SOI衬底上制作有锥形孔，锥形孔内表面及周围都镀有金属膜层，在锥形孔周围形成有纳米金属沟槽结构，所述锥形孔上集成压电可动微透镜，锥形孔从入射表面向出射表面呈线性逐渐减小，即在SOI衬底上形成锥形亚波长通光孔，锥形亚波长通光孔孔径的锥形角在0～90°。本发明运用压电式可动微透镜和近场光探针的集成工艺，在近场光探针上制备角度可调聚焦微透镜，通过聚焦提高入射光的功率密度和控制入射光角度以激发更强的表面等离子体激元，提高近场光探针的通光效率和输出光功率。

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