[00134333]一种制备三族氮化物衬底的方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200710023555.8

交易方式： 完全转让

联系人：中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

所在地：江苏苏州市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种制备三族氮化物衬底的方法，其特征在于，包括下列步骤：(1)在蓝宝石衬底上生长三族氮化物薄膜，薄膜厚度在50纳米到50微米之间；(2)用高能量激光从衬底背面入射辐照，使三族氮化物薄膜和蓝宝石衬底不完全剥离，分离面积为总面积的10％到99％之间，所述高能量激光的光子能量在三族氮化物与蓝宝石的带宽之间；(3)对处理后的三族氮化物及蓝宝石衬底采用卤化物气相外延生长法继续进行三族氮化物薄膜生长，至所需厚度，即获得所需的三族氮化物衬底。本发明能保证获得薄膜的平整度，也可实现薄膜与蓝宝石衬底的原位自动分离，从而获得所需厚度的自支撑外延薄膜。

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