[00134330]一种可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200720033763.1

交易方式： 完全转让

联系人：中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

所在地：江苏苏州市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本实用新型公开了一种可抑制化学气相沉积预反应的进气蓬头，包括一本体，所述本体上设置有喷气口，本体边缘处设有冷却水入口和出水口，其特征在于：所述本体内设有冷却水容腔，本体底面均布有至少4条径向设置的由复数个喷气口组成的气道，对应于每一气道上方设有一个覆盖喷气口的罩体，对应每一罩体在本体顶面设有入气口，入气口经进气管连通至罩体与气道间的空腔内，构成入气通道；所述本体顶面对应于冷却水入口与出口分别设有与冷却水容腔连通的进水管及出水管，构成冷却水通道。本实用新型通过各自独立的进气通道及对入气口起冷却作用的冷却水通道，实现对原料气预反应的抑制，从而提高薄膜的质量。

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