[00013640]一种化学机械法金刚石膜抛光装置及其抛光方法
交易价格：
面议
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：200510034023.5
交易方式：
完全转让
联系人：
厦门立德软件公司
所在地：浙江
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
技术投资分析：
该置可以实现金刚石膜的一次性精密抛光，最后的粗本发明公开了一种化学机械法金刚石膜抛光装置及其进行金刚石膜抛光的方法，该装置包括电机(2)、传动组件(1)、相互配合并可以连接传动的套筒套轴组件(8)以及它们之间的可以进行压缩的弹簧(9)、金刚石膜装夹组件(14)、抛光底盘(6)、绝缘隔热材料(7)、温控器(10)、温度热电偶(13)、继电器(12)、加热器件(5)及可升降工作台(15)；该发明可以对抛光的压力，转速，温度等参数进行调节，在不同条件下对金刚石膜进行抛光，装糙度和平整度都比较好。
技术的应用领域前景分析：
随着高新技术的发展，应用领域十分宽广。
效益分析：
本装置结构简单，占地空间小，可以一次性进行精密级抛光，抛光精度高。
厂房条件建议：
无
备注：
无
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