[00110782]真空感应化学气相沉积/渗透系统分布式控制装置

交易价格： 面议

类型： 专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200710010132.2

交易方式： 完全转让

联系人：东北大学

所在地：辽宁沈阳市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

　　一种真空感应化学气相沉积/渗透系统分布式控制装置属于自动控制领域。本发明装置包括上位机、协议转换器、温度控制器、DA转换模块、真空计、质量流量控制器和可编程控制器,当可编程控制器的个数大于1时还包括适配器。上位机分别与可编程控制器、协议转换器相连,当可编程控制器的个数大于1时通过适配器与上位机相连,协议转换器分别与温度控制器、DA转换器相连,DA转换器与真空计、质量流量控制器相连。上位机嵌入了系统登录模块、控制系统界面模块、串口通信模块、温度控制模块、流量控制模块、真空度采集模块和数据存储模块。本发明通讯、数据处理能力强;控制系统的结构易于调整、升级,抗干扰能力强;通用性强。

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